氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理
2020.06.17
氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜分析原理，以氦為示蹤氣體，對真空設(shè)備和密封器件的漏隙進行定位或定量、定性測量的完整系統(tǒng)。
我們知道氣體在電子的轟擊下會產(chǎn)生帶電粒子，帶電粒子在電場的作用下獲得能量做加速動力，而在磁場的作用下將做圓周運動，而具有不同質(zhì)荷比的離子其運動半徑不同。這就使一束帶電粒子在磁場的作用下按荷質(zhì)比分離，這門研究使不同質(zhì)量的粒子在電磁場中運動并依質(zhì)荷比進行分離的學(xué)科稱為質(zhì)譜學(xué)。根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理制成的儀器叫質(zhì)譜儀。氦質(zhì)譜檢漏儀是質(zhì)譜儀器中的一種，將質(zhì)譜儀用于檢漏技術(shù)是質(zhì)譜儀在真空密封檢測技術(shù)中的重要應(yīng)用。
檢漏的基本任務(wù)靠采取一些標準檢漏技術(shù)來完成，而采用哪種技術(shù)要根據(jù)被檢件的結(jié)構(gòu)、檢漏的經(jīng)濟效益及檢漏系統(tǒng)的性質(zhì)來決定。
近年來由于電子工業(yè)的發(fā)展，空間探索活動的增加，檢漏技術(shù)得到了快速發(fā)展，它的重要標志是將以氦為示蹤氣體的氦質(zhì)譜檢漏儀已快速地進入了各個適用的領(lǐng)域。氦質(zhì)譜檢漏儀同其它檢方法相比，除檢漏方法不同之外，以它的檢測靈敏度高、速度快，可進行定性、定量、定點的檢測特別是選擇無破壞性、，無危險的隋性氣體氦為示蹤氣體，使它成為今天檢漏儀器當(dāng)中的佼佼者。
在許多科學(xué)領(lǐng)域和制造業(yè)中，氦質(zhì)譜檢漏儀已成為控制和監(jiān)督產(chǎn)品質(zhì)量的裝備。尤其近幾年來，電工電子產(chǎn)品的監(jiān)督檢驗部門和生產(chǎn)廠家，制冷、汽車、航空、航天等行業(yè)強化“以質(zhì)量求生存”的意識，他們在將氦質(zhì)譜檢漏儀用于生產(chǎn)線和科研應(yīng)用的同時，不斷探索其在本行業(yè)的應(yīng)用開發(fā)并積累了很多經(jīng)驗。
